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【求助】5nm左右的氧化鋁薄膜怎么測(cè)厚度？ 已有11人參與
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在玻璃或者硅片上先蒸50nm的鋁薄膜，再在上面做一層5nm左右的氧化鋁。 請(qǐng)問：5nm怎么測(cè)檢測(cè)其厚度更準(zhǔn)確 一些？ |
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3樓2010-05-04 19:22:29
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2樓2010-05-04 19:10:50
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4樓2010-05-04 19:30:16
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5樓2010-05-04 19:52:50
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