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qfw_68
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mabo2008(金幣+3):謝謝 2010-05-27 08:18:38
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參考文獻(xiàn)：Y.C.Lin,Y.C.Jian,J.H.Ji.. A study on the wet etching behavior of AZO (ZnO:Al) transparent conducting film [J]. AppliedSurfaceScience,2008，(254): 2671-2677 利用TMAH溶液對(duì)所制備的AZO薄膜進(jìn)行刻蝕，得到不同濃度的TMAH溶液在不同的溫度下的腐蝕率，其中在TMAH：H2O＝2.38：97.62的溶液中，當(dāng)溫度為45℃時(shí)，樣品的腐蝕率為22nm/min ITO濕法腐蝕 參考： https://www.2ic.cn/html/26/t-310026.html [ Last edited by qfw_68 on 2010-5-14 at 17:02 ] |
2樓2010-05-14 16:50:53
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