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【求助】硅片的穩(wěn)定鈍化 已有5人參與
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Sample TextSample Text 請教，常規(guī)切割的硅片，化學(xué)腐蝕去損傷層后，穩(wěn)定鈍化的方法。 由于設(shè)備原因，不考慮氮化硅氣相沉積鈍化；HF和碘酒鈍化，本人也有實驗，不太穩(wěn)定。 請多多指教！從速啊！ |
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3樓2010-06-03 12:47:39
2樓2010-05-27 10:27:03
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
6樓2013-05-06 16:46:16
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