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【專題】XPS 已有6人參與
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X射線光電子能譜(XPS) 不僅電子可以用來激發(fā)原子的內(nèi)層電子,能量足夠高的光子也可以作為激發(fā)源,通過光電效應產(chǎn)生出具有一定能量的光電子。X射線光電子能譜(X-ray Photoelectron Spectroscopy),簡寫為(XPS)就是利用能量較低的X射線源作為激發(fā)源,通過分析樣品發(fā)射出來的具有特征能量的電子,實現(xiàn)分析樣品化學成分目的的一種表面分析技術。XPS技術已用范圍十分廣泛,主要用于分析表面元素組成和化學狀態(tài),以及分子中原子周圍的電子密度,特別是原子價態(tài)以及表面原子電子云和能級結構方面。 X射線光電子能譜分析法是用X射線作入射束,在與樣品表面原子相互作用后,將原子內(nèi)殼層電子激發(fā)電離,以檢測樣品成分及結構的信息。這個被入射的特征X射線激發(fā)電離的電子稱為光電子。測量光電子的動能可以鑒定樣品所含元素及其化學狀態(tài)。它不但用于化學元素分析,而且更廣泛地應用于表面科學和材料科學。 光電發(fā)射是光電子能譜的基本原理,任何材料在光電子作用下都可發(fā)射電子,探測到這些電子,并分析它們所帶有的信息(如能量、強度、角分布等),從而了解樣品的組成及原子和分子的電子結構,這就是光電子能譜。按光子能量,光電子譜可分為X射線光電子譜(XPS),其能量范圍是100 eV-10 keV,紫外光電子譜(UPS),其能量為10 eV-40 eV。UPS主要分析價電子和能帶結構,XPS可以激發(fā)、分析原子芯能級結構。 |
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