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【討論】XPS儀器廠商性能大比拼 已有6人參與
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目前主要的xps儀器生產(chǎn)廠家有: 1 。 ULVCA-PHI公司,原美國phisical electronics公司,產(chǎn)品型號有:phi-5000Versaprobe系列,Quantera系列。原大名鼎鼎的美國PE公司產(chǎn)品。 主要生產(chǎn)的xps特點是采用聚焦x射線技術(shù),最小的x-ray光斑可以做到小于10um,并且具有專利的雙束電荷中和系統(tǒng)(電子束和離子束),中和效果極佳。同時,采用掃描x-ray技術(shù)可以獲得二次電子圖像,對微區(qū)定位分析很重要。但是產(chǎn)品價格高。采用聚焦x-ray技術(shù)。 2。島津公司,原來的英國kratos公司,又是一家被日本公司收購的儀器公司,主要代表產(chǎn)品為:kratos-ultra DLD,其特點是采用了延遲線技術(shù)(DLD),采集圖像速度特別快。同時采用浸沒透鏡技術(shù),提高一起的靈敏度。另外,其電子云中和技術(shù)也是依靠磁浸透鏡。但是其小束斑技術(shù)信號差,對樣品垂直位置放置要求嚴(yán)格,z軸高度在(-20um~+20um)。性能雖然差一點。采用虛擬探針技術(shù)。 3。Thermal VG公司,產(chǎn)品的系列較多,K alpha, theta 300, theta 300xt, theta probe, ESCALAB250等等,主要技術(shù)特點是平行光成像技術(shù),采用兩各不同的檢測器,一個負(fù)責(zé)采集譜圖,一個負(fù)責(zé)采集圖像,其主要缺點都是降低檢測器的有效接收面積,原因是其中一個檢測器(譜圖)被當(dāng)作光柵使用。性能更差。采用虛擬探針技術(shù)。 |
科研設(shè)備設(shè)施 |
榮譽版主 (文壇精英)
Excellent
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I support this one. In my lab, we use this one. 1 。 ULVCA-PHI公司,原美國phisical。澹欤澹悖簦颍铮睿椋悖蠊,產(chǎn)品型號有:phi-5000Versaprobe系列,Quantera系列。原大名鼎鼎的美國PE公司產(chǎn)品。 主要生產(chǎn)的xps特點是采用聚焦x射線技術(shù),最小的x-ray光斑可以做到小于10um,并且具有專利的雙束電荷中和系統(tǒng)(電子束和離子束),中和效果極佳。同時,采用掃描x-ray技術(shù)可以獲得二次電子圖像,對微區(qū)定位分析很重要。但是產(chǎn)品價格高。采用聚焦x-ray技術(shù)。 |
木蟲 (著名寫手)
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