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pk5174530金蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】請教PLD抽真空的問題 已有4人參與
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| 昨天用PLD法鍍膜，實驗結(jié)束后，真空腔內(nèi)的壓強為6Pa，關(guān)掉機械泵約5min鐘后氣壓自動回復(fù)到20Pa，這種情況是屬于正常情況嗎？平時做實驗都沒注意，關(guān)了儀器就走了，這次發(fā)現(xiàn)這樣的情況自己不確定是否正常... |
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ftfxiaoyu
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2樓2010-06-24 17:39:40
bryano
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3樓2010-06-25 03:03:25
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7樓2010-07-19 07:49:12
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