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fengaddress812木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[交流]
【請(qǐng)教】提拉單晶硅中的氧化誘生層錯(cuò)（OSF）怎么解決？ 已有2人參與
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小弟提拉的單晶硅中有大量的氧化誘生層錯(cuò)（OSF），請(qǐng)問(wèn)各位大俠，有沒(méi)有什么好方法能解決的��？我高溫退火了，還是不行，好像更差了。請(qǐng)有經(jīng)驗(yàn)的大俠指點(diǎn)一二。 謝謝！ |
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barton2004
木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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2樓2010-10-08 19:21:15
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3樓2014-12-22 09:47:26
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