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nanate金蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】硅薄膜制備出現(xiàn)粉末 已有2人參與
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大家好！ 用SiCl4作為硅源制備硅薄膜的時(shí)候（采用電容耦合PECVD），在射頻電極上出現(xiàn)了黃色的粉末。從觀察鏡中可以看出，在開腔門之前沒有粉末狀，電極很干凈；但是一開爐門玻璃基片和射頻電極出現(xiàn)了黃色粉末，得不到硅薄膜，不知是什么原因，希望有高手能給點(diǎn)意見。謝謝了��！ |
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2樓2010-07-23 08:21:04
nanate
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3樓2010-07-23 08:44:23
4樓2010-07-23 09:02:17
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5樓2010-08-11 20:23:53
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6樓2010-08-12 11:41:57
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7樓2010-08-13 13:34:50
nanate(金幣+1):5 2010-08-17 08:47:58
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8樓2010-08-13 15:00:23
nanate
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9樓2010-08-17 08:50:55
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