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gamewang木蟲 (著名寫手)
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[交流]
【求助】有誰用TEOS勻膠做SiO2膜嗎？ 已有5人參與
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| 我用TEOS做源，勻膠法在P型硅片上制作SiO2薄膜，沒有烘之前膜還是均勻的，可是在80度夏烘了以后，膜出現(xiàn)卷膜現(xiàn)象，也就是部分薄膜與襯底分離了，怎么回事？怎么辦? |
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 SiO2 薄膜 納米 工藝 |
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