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cxy541659331銅蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】晚輩請(qǐng)教各位前輩：關(guān)于ZMO：Al導(dǎo)電膜的制備問題 已有3人參與
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| 我出來(lái)乍到，沒擊斃送給各位啊，但是還是請(qǐng)大家?guī)蛶兔Γ?br /> 要用磁控濺射法來(lái)做ZMO：Al導(dǎo)電薄膜，自己燒制的靶材（2英寸）電阻太該太高！不知道能不能用！現(xiàn)在想用MgZnO靶材和Al金屬靶材雙靶濺射來(lái)做！但是不知道Al的組分怎么來(lái)調(diào)節(jié)��？各位給我指點(diǎn)迷津��！先謝謝了 |
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BK2008
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2樓2010-09-06 19:05:19
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4樓2010-09-07 08:42:01
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5樓2010-09-09 14:54:58
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我現(xiàn)在是做的MgZnO:Al的混合靶材，自己做的，不知道什么原因，做出來(lái)的不像文獻(xiàn)中所說(shuō)電阻率很低，而是極高極高！做出來(lái)的膜也是電阻率非常高，有十的六次方那么高！我真的不知道該怎么辦了！ 本文來(lái)自: 小木蟲論壇 http://www.gaoyang168.com/bbs/viewthread.php?tid=2370116&pid=109304&page=1#pid109304 |
6樓2010-09-09 14:55:43
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