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[交流]
問Si襯底電阻率對薄膜的影響
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| 請問Si襯底不同的電阻率，對淀積的薄膜有怎樣的影響。如果要了解這些知識應(yīng)當(dāng)看那些資料。現(xiàn)在選擇Si襯底，怎樣對電阻率進行選擇？ |
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2樓2010-09-15 14:50:13
3樓2010-09-16 16:46:37
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4樓2010-09-16 16:56:55
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5樓2010-09-16 16:57:24
6樓2010-11-15 11:32:17
，樣品的形狀方形的怎么測，不是要算直徑修正因子么謝謝 7樓2010-12-09 10:20:11
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