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zhl028鐵桿木蟲 (小有名氣)
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[交流]
【交流】咨詢磁控濺射負偏壓問題 已有5人參與
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關(guān)于鍍膜電源的疑惑： 磁控濺射靶電源正極接地，負極接靶材，而工件負偏壓也是正極接地。這兩種負偏壓之間是否產(chǎn)生場強？兩者之間有什么相互聯(lián)系？ [ Last edited by xucz on 2011-4-23 at 23:21 ] |
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6樓2010-12-16 15:50:12
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