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taijun木蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】掃描電鏡 已有1人參與
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| 掃描電鏡中 二次電子探測器的原理是什么? |
金蟲 (著名寫手)
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二次電子探測器(又叫二次電子探頭)如圖7—13所示。電子探針作用于試樣面上,在試樣表面下50人左右的深度內(nèi)發(fā)射出二次電子,真正二次電子的能量一般小于50ev,這些二次電子由于受到柵網(wǎng)電極正電場的作用(十250v),被加速并聚焦在加有10kv電壓的閃爍體上面,激發(fā)閃爍體發(fā)光。利用光導(dǎo)管將這些光量子鍋臺到光電倍增管的光電陰極上,信號電流得到很大的倍增,其后再由視頻放大器進(jìn)一步放大,使信號幅值達(dá)到顯像管工作時所要求助數(shù)值。 ‘‘· 。 由于探針電流最小為矗=1×10““A,而試樣的二次發(fā)射系數(shù)一般都小于1,所以二次電子流數(shù)量級為J2=1×10—12A,要將這么微弱的二次電子流放大,二次電子探酗器應(yīng)具有良好的性能。首先,必須具有10’的放大增益,這樣才能使光電倍增管輸出端達(dá)10tL傘的輸出電流;另外,探測器本身的噪聲應(yīng)當(dāng)很小,且有足夠快的響應(yīng)速度,以滿足掃描電鏡中通頻帶的 |

木蟲 (小有名氣)
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木蟲 (小有名氣)
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