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[交流]
【討論】氧化鋅薄膜的導(dǎo)電問題 已有9人參與
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| 采用射頻磁控濺射做的氧化鋅薄膜，陶瓷靶，功率50，室溫沉積的Zno膜，沒有通氧。薄膜不導(dǎo)電。退火到800度都不導(dǎo)電。但文獻(xiàn)都說氧化鋅是可以導(dǎo)電的。不知原因在哪里。有沒有做過氧化鋅導(dǎo)電膜的牛人指點(diǎn)一下，謝謝！ |
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poxllo2010
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2樓2010-10-07 12:23:43
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