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張學宇1983木蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】低溫等離子體發(fā)射光譜診斷 已有1人參與
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| 本人在做ECR-PECVD的n型硅薄膜研究，想通過發(fā)射光譜診斷一下等離子體的環(huán)境。其中H，Ar，SiH的光譜在文獻中已經(jīng)找到，但沒有找到PH的發(fā)射光譜，也找了一些書籍，但都沒找到，希望老師或同學們給予幫助，最好是一些發(fā)射光譜的資料庫，或相關文獻。如果有幫助定會獎勵，謝謝！ |
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張學宇1983
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5樓2010-10-14 09:16:59
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