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qzhang6568木蟲 (著名寫手)
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[交流]
【求助】請(qǐng)大家討論下多層膜或超晶格的最大厚度是多少?
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我現(xiàn)在做的一個(gè)課題,如果要應(yīng)用的話,是需要多層膜或超晶格能達(dá)到一個(gè)較大的厚度或質(zhì)量。 請(qǐng)問做薄膜的同行們,對(duì)于多層膜,在仍舊保持薄膜的性能的前提下,多層膜的最大厚度能達(dá)到多少呢?能達(dá)到幾百個(gè)um嗎?我曾經(jīng)做個(gè)1um厚的雙層膜,性能還是可以的。 對(duì)單層薄膜來講,如果厚度超過0.3 um的話,其磁學(xué)性能一般就會(huì)接近塊體了。但對(duì)多層膜,由于不同層的strain effect,應(yīng)該是可以達(dá)到較大的厚度的(并且薄膜區(qū)別于塊體的磁性能還存在)。 請(qǐng)大家根據(jù)自己的經(jīng)驗(yàn)或所獲得的知識(shí),說說自己的看法:多層膜或超晶格的厚度最大能達(dá)到多少呢? 謝謝大家! |
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