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[交流]
【求助】射頻放電等離子體制備建模求助
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氬氣和硅烷的混合氣體從上端進(jìn)入外徑和內(nèi)徑分別為12mm和8mm的石英管中。頻率為13.56MHz，功率為100W的射頻電源通過匹配網(wǎng)絡(luò)加到兩個銅環(huán)上。放電氣壓保持在200Pa。離開等離子體區(qū)后，粒子進(jìn)入一個膨脹的腔體，在距離等離子體區(qū)大約3cm處，粒子以粉末的形式收集在一個一個不銹鋼網(wǎng)上 求助 高手 這個實驗過程可以建立一個模型嗎？用什么軟件建模比較好？ |
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3樓2010-10-10 13:23:09
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