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【求助】射頻放電等離子體制備建模求助
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氬氣和硅烷的混合氣體從上端進(jìn)入外徑和內(nèi)徑分別為12mm和8mm的石英管中。頻率為13.56MHz，功率為100W的射頻電源通過(guò)匹配網(wǎng)絡(luò)加到兩個(gè)銅環(huán)上。放電氣壓保持在200Pa。離開(kāi)等離子體區(qū)后，粒子進(jìn)入一個(gè)膨脹的腔體，在距離等離子體區(qū)大約3cm處，粒子以粉末的形式收集在一個(gè)一個(gè)不銹鋼網(wǎng)上 求助 高手 這個(gè)實(shí)驗(yàn)過(guò)程可以建立一個(gè)模型嗎？用什么軟件建模比較好？ |
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夕陽(yáng)西下
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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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你現(xiàn)在那個(gè)模型弄的怎樣了？我剛開(kāi)始接觸這一塊，想向你學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)。方便的話，郵箱聯(lián)系：yanglf2008@yahoo.com.cn |
5樓2012-04-23 15:03:58
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