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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 化學化工區(qū) » 無機/物化 » 實驗技術 » 【求助】硅片怎么清洗
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songna銀蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】硅片怎么清洗 已有1人參與
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| 請問：要 在硅片上點樣照掃描電鏡圖，硅片應該進行怎樣的清洗呢？我查到的有用雙氧水體系：首先硫酸：雙氧水5:1，然后水：雙氧水：氨水5:2:1，最后水：雙氧水：鹽酸7:2：1，每步都用超純水沖洗。如果用這種方法清洗，那么每步需要處理多久呢？？ |
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 硅片 |
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chocolate3519
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