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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 【請教】PI表面改性
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apolloljy銀蟲 (小有名氣)
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[交流]
【請教】PI表面改性 已有3人參與
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| 我采用PI-5來作為絕緣層，涂膠后按照固化程序固化并在此基礎上做光刻膠圖形，濺金后拿去剝離，發(fā)現(xiàn)金層全部脫落了。此前做過這樣的工藝，但是采用的濺射是20nmTi+100nmAu，這次采用的是10nmCr+100nmAu，是否是10nm的鉻不能很好粘合Au和PI層，我應該采用更厚的鉻層？還是或者有什么方法使得PI表面改性，使其附著力和表面粗糙度都增大？ |
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apolloljy
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。5樓2010-10-24 00:36:32
6樓2016-05-02 22:56:43
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