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[交流]
【求助】關(guān)于磷在單晶太陽(yáng)能電池工藝
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最近老板讓我仿真太陽(yáng)能電池工藝，具體是高濃度的磷在硅中的擴(kuò)散。目前到高濃度摻雜擴(kuò)散產(chǎn)生缺陷就不知道該怎么做了。我這方面不懂，請(qǐng)高人指導(dǎo)下！ 具體是：1、高濃度摻雜擴(kuò)散會(huì)產(chǎn)生哪些缺陷，具體是在什么條件下產(chǎn)生，對(duì)擴(kuò)散 什么影響 2、與此相關(guān)文獻(xiàn) |
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