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zhxfish金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[交流]
【請(qǐng)教】摻Al的ZnO薄膜XRD圖譜解讀
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 大家看看哈， 那個(gè)不對(duì)稱(chēng)的峰位在33.4°，70°附近也有一個(gè)，好像可以對(duì)應(yīng)65-2880卡片的(111)和（222）,但這是常規(guī)磁控濺射制備的100多nm厚的薄膜，基底是K9， 好像還沒(méi)人制出這個(gè)峰位的，如果確認(rèn)是，這可是閃鋅礦結(jié)構(gòu)，而大家絕大多數(shù)情況都是纖鋅礦結(jié)構(gòu)。 歡迎大家質(zhì)疑和提供解釋。 也可郵件聯(lián)系：zhangxf315@yahoo.com.cn  |
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zhxfish
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7樓2010-11-07 21:43:17
xhtangxh
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zhxfish(金幣+2):謝謝你！ 2010-11-06 15:53:50
| 用Cu靶還是其它靶做的？裝沒(méi)裝Göbel鏡？角度校正過(guò)嗎？對(duì)這個(gè)推測(cè)結(jié)論深表懷疑。100nm以上薄膜的衍射峰展寬不可能有這么大，再說(shuō)PDF 65-2880的(222)衍射峰相對(duì)強(qiáng)度非常低，僅為(111)的4%，這個(gè)峰都能出來(lái)，那么相對(duì)強(qiáng)度高出其幾倍甚至10倍的(200)、(220)、(311)峰至少應(yīng)有跡可循，圖中卻毫無(wú)征兆，這顯然說(shuō)不通。 |
2樓2010-11-06 14:32:52
zhxfish
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|
首先謝謝你的回復(fù)！ 用的是銅靶，使用的是常規(guī)粉末衍射儀，但功率可達(dá)10kW，本圖為4kW測(cè)試結(jié)構(gòu)，10kW測(cè)的圖基本相同； 應(yīng)該是沒(méi)有裝Göbel鏡，還是匯聚光束； 其實(shí)我也對(duì)這個(gè)結(jié)果深表懷疑�。�！ 衍射峰展寬如果是很小的晶粒，展寬還是有可能的，何況這里的不對(duì)稱(chēng)峰可能是雙峰的疊加，我初步猜測(cè)是六方（002）和立方的（111）； 但這是特殊的ZnO，數(shù)以萬(wàn)計(jì)的文章做的峰都在34.4°附近，也就是說(shuō)是六方相，只有極其個(gè)別人看到這個(gè)峰位的。 我向測(cè)試單位要了硅粉標(biāo)樣，發(fā)現(xiàn)和卡片對(duì)應(yīng)很好；我后來(lái)發(fā)現(xiàn)他們今年九月搬過(guò)機(jī)器，而給我是08年標(biāo)定的標(biāo)樣；但后來(lái)說(shuō)今天搬動(dòng)機(jī)器后工程師校正過(guò)了，也使用硅粉連續(xù)掃描發(fā)現(xiàn)峰位吻合很好，所以角度校正問(wèn)題應(yīng)該可以排除了吧？！ 您說(shuō)的峰強(qiáng)比值問(wèn)題，我覺(jué)得只能作為參考，這里是摻了2wt%的Al的，而且ZnO薄膜一向織構(gòu)很強(qiáng)。 |
3樓2010-11-06 15:52:35
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zhxfish(金幣+2): 2010-11-06 19:04:01
| 即使有摻Al和織構(gòu)因素的影響，(200)、(220)、(311)峰至少還是應(yīng)該有一定強(qiáng)度的。34.4°處的“單峰”可以有很多解釋?zhuān)热鐡诫s的均勻性、測(cè)試樣的平整度、狹縫匹配等。裝Göbel鏡的衍射儀國(guó)內(nèi)也有不少了，如果可能，還是盡量找臺(tái)專(zhuān)做薄膜的儀器測(cè)測(cè)吧，畢竟又準(zhǔn)確又能獲得很多織構(gòu)方面的參數(shù)，倘或真如假設(shè)這點(diǎn)測(cè)試費(fèi)還是值得花的。祝好運(yùn)！ |
4樓2010-11-06 17:07:36
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