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[交流]
【求助】PECVD沉積SiO2薄膜，結(jié)果把機(jī)械泵的排風(fēng)管給腐蝕了！ 已有4人參與
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如題，用的氣源是 SiH4, N2O, N2，做完試驗(yàn)后發(fā)現(xiàn)，機(jī)械泵接的排風(fēng)管（PE？PVC材質(zhì)？）給腐蝕爛了。 N2O溶于水么？ 或是N2O反應(yīng)生成NO, NO2，與淀積過(guò)程中生成的水，或排風(fēng)管里的水蒸氣反應(yīng)生成 HNO3 ？ |
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3樓2010-11-18 12:05:53
stardom427
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2樓2010-11-18 10:08:10
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4樓2010-11-18 12:24:25
5樓2010-11-18 17:33:27
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