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【摘要編號】11074274/ A040503
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iriszhang(金幣+3): 謝謝！ 2011-01-28 21:28:28
iriszhang(金幣+3): 謝謝！ 2011-01-28 21:28:28
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項目編號 11074274 項目名稱 基于PZT薄膜的微壓電超聲換能器研究 項目類型 面上項目 申報學(xué)科1 超聲學(xué)、量子聲學(xué)和聲學(xué)效應(yīng)(A040503) 申報學(xué)科2 超聲學(xué)、量子聲學(xué)和聲學(xué)效應(yīng)(A040507) 研究性質(zhì) 應(yīng)用基礎(chǔ)研究 資助金額 40.00萬元 開始日期 2011年1月1日 完成日期 2013年12月31日 項目摘要 微超聲換能器（MUT）的研究是當今MEMS和超聲學(xué)交叉的一個重要研究熱點,由于它使用了微細加工技術(shù)，因此可小型化、性能穩(wěn)定一致、可批量制造，特別是可集成化。它的發(fā)展將給醫(yī)用超聲成像技術(shù)，微型機器人以及其他軍用和民用微聲學(xué)探測帶來革命性的變化。MUT有壓電式（PMUT）和電容式（CMUT）兩種。PMUT相對于CMUT具有不需要作偏置電壓的DC-DC變換器、制備工藝簡單、具有較高的發(fā)射效率等突出的優(yōu)點。主要缺點是目前靈敏度比較低。本項目提出一種柔性支撐新型PMUT結(jié)構(gòu)，尋求提高其靈敏度的途徑。研究內(nèi)容包括在微尺度下的聲力電相互作用、PZT基復(fù)合板振動特性、等效電路模型、輻射聲場等。在此基礎(chǔ)上研究微換能器結(jié)構(gòu)參數(shù)對換能器性能的影響，對超聲換能器進行優(yōu)化設(shè)計，解決PMUT關(guān)鍵制備技術(shù)，最終研制出PZT基PMUT的實驗性器件。通過本項目研究，能對未來用于微超聲成像的PMUT提供物理和技術(shù)基礎(chǔ)。 獲資助單位 中國科學(xué)院聲學(xué)研究所(項目負責人) |
2樓2011-01-26 16:45:46
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