thjuan

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[交流] 【請教】薄膜材料如何做XRD

問題如下：有做化學氣相沉積的嗎？請教大家一個問題。我做的氧化鋅薄膜，由于剛開始還不太懂，第一次做XRD發(fā)現(xiàn)襯底的峰強度很大，幾乎就看不到氧化鋅的峰了。請問大家有沒有遇到這個問題？這種情況下是不是要做小角掠射XRD？如果是常規(guī)XRD，掃描速度多少比較合適？

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1樓 2011-03-09 11:08:03

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manson882

至尊木蟲 (正式寫手)

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我也有這個疑惑感覺這個問題挺經典的畢竟還是做普通xrd的多希望xdjm多給點意見我順便學習下

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2樓2011-03-09 11:09:37

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vmuch520

至尊木蟲 (文壇精英)

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金光閃閃2010(金幣+1): 歡迎常來交流 2011-03-09 23:10:56
thjuan(金幣+2): 謝謝 2011-03-10 09:15:47

引用回帖:

Originally posted by thjuan at 2011-03-09 11:08:03:
問題如下：有做化學氣相沉積的嗎？請教大家一個問題。我做的氧化鋅薄膜，由于剛開始還不太懂，第一次做XRD發(fā)現(xiàn)襯底的峰強度很大，幾乎就看不到氧化鋅的峰了。請問大家有沒有遇到這個問題？這種情況下是不是要做小 ...

我也曾做過玻璃基底（可能透過了）的薄膜的xrd，好像效果都不太好，就放棄了。

正常xrd速度比較快，你的基底是什么硅片嗎？掃描速度可以慢點1度/min試一次看看。我看好多文獻上的效果還可以阿，比如
Adv. Funct. Mater. 2007, 17, 3639–3649，基底信號基本沒有。
如果做薄膜的曲線和單純基底，然后再扣除基底不知道可行不，沒試過。

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3樓2011-03-09 15:31:25

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石頭荊

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????!

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4樓2011-03-09 17:39:02

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lulinsmann

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thjuan(金幣+2): 謝謝 2011-03-10 09:17:05

一般薄膜樣品應該考慮小角衍射，將襯底影響減至最小

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5樓2011-03-09 18:28:37

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todouwei

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金光閃閃2010(金幣+1): 歡迎提供有參考價值的信息 2011-03-09 23:11:46
thjuan(金幣+2): 謝謝我的是Si(100)襯底不過我看好多文獻沒有襯底峰不知道他們怎么做到的 2011-03-10 09:19:03

引用回帖:

你用的什么襯底大多數(shù)材料的衍射峰位不和ZnO的峰位重合所以就算襯底的峰很強又有什么關系那？你只要作圖的時候只選定ZnO峰位區(qū)間就行了，如果襯底峰位和ZnO峰位很近你可以對Y軸取對數(shù)

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6樓2011-03-09 18:47:32

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todouwei

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thjuan(金幣+2): 謝謝 2011-03-10 09:21:18

引用回帖:

對于超過200nm的薄膜沒有必要用小角衍射，速度設定為每步0.02度，每步0.1秒，就夠了。

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7樓2011-03-09 18:51:31

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thjuan(金幣+2): 謝謝 2011-03-11 09:13:49

引用回帖:

Si的峰位在69度，ZnO主峰區(qū)都在30-40度，作圖的時候就取20-65度，既能證明薄膜沒有雜相也能去掉Si的峰。ZnO 004峰在73度左右，只要不需標定晶格常數(shù)也就沒有必要顯示出來。真想標的話薄膜就應該做的厚一點。小角衍射也可以試一下，先做搖擺曲線確定入射角，再做小角掃描。

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8樓2011-03-10 10:42:43

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引用回帖:

8樓: Originally posted by todouwei at 2011-03-10 10:42:43:
Si的峰位在69度，ZnO主峰區(qū)都在30-40度，作圖的時候就取20-65度，既能證明薄膜沒有雜相也能去掉Si的峰。ZnO 004峰在73度左右，只要不需標定晶格常數(shù)也就沒有必要顯示出來。真想標的話薄膜就應該做的厚一點。小角 ...

Si的峰位在28.3，,47.5和55.9附近，你說的69度是什么峰

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9樓2011-12-17 15:18:44

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yjun8831

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用雙面膠將膜粘在那個槽里

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10樓2011-12-19 17:20:40

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