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ramble81木蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】四探針測得的是薄膜的方阻還是電阻率 已有7人參與
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弱弱的問一下:用四探針測薄膜,得到的是薄膜的方阻還是電阻率? |
薄膜電阻率測試儀 |
銅蟲 (小有名氣)
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Originally posted by clzkzy at 2011-06-08 20:19:11: 樓上全錯(cuò)。。。。。。。。。! 電阻率=方阻*探針間距 怎么可能是膜厚度。。。。! RTS-8型四探針,在當(dāng)膜厚度<0.4mm時(shí)由于難以修正測電阻率的電流(需要知道厚度)只能測量方阻,換算的話應(yīng)該是乘以 ... 請教一下,sx1944 型四探針測試儀怎么算電阻率? 方塊電阻測試原理中說的是測試正方形兩端的電阻,可是四探針可能是四個(gè)等間距的探針(針狀),它是怎么做到長度等于寬度的? L1 為在電流方向的膜層長度,L2 為在垂直于電流方上的膜層長度,d 為膜厚, R= p L1/(d*L2) |

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小二黑
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Originally posted by styrenes at 2011-06-09 08:48:06: 請教一下,sx1944 型四探針測試儀怎么算電阻率? 方塊電阻測試原理中說的是測試正方形兩端的電阻,可是四探針可能是四個(gè)等間距的探針(針狀),它是怎么做到長度等于寬度的? L1 為在電流方向的膜層長度 ... sx1944型沒見過,去看一下四個(gè)探針的作用,http://baike.baidu.com/view/1886841.htm |

金蟲 (小有名氣)
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1293451樓: Originally posted by clzkzy at 2011-06-08 20:19:11 樓上全錯(cuò)。。。。。。。。。! 電阻率=方阻*探針間距 怎么可能是膜厚度!。。。。 RTS-8型四探針,在當(dāng)膜厚度<0.4mm時(shí)由于難以修正測電阻率的電流(需要知道厚度)只能測量方阻,換算的話應(yīng)該是乘以探針 ... 不對,要看薄膜的厚度 如果厚度及邊緣與探針之間的最近距離大于四倍探針間距時(shí), 電阻率=2Π*(V/I)*探針間距 如果是極薄樣品,即樣品厚度比探針間距小很多時(shí), 電阻率=(Π/ln2)*(V/I)*膜厚=4.5324*(V/I)*膜厚 [ Last edited by sarahzyp on 2012-12-19 at 10:18 ] |
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