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315050870lk捐助貴賓 (小有名氣)
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【討論】使用酸溶液對硅片進行減薄 已有3人參與
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| 我這有一些500多微米厚的單拋硅片，想用HF+HNO3+CH3COOH對其進行減薄。由于要保護拋光面不被腐蝕，所以需要在拋光面表面涂一層抗腐蝕劑，等腐蝕完了以后再去掉這層抗腐蝕劑。我想問一下什么材料可以作為這種抗腐蝕劑？什么方法可以將這種抗腐蝕劑去掉？ |
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