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mars_zheng新蟲(chóng) (初入文壇)
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[交流]
【求助】單晶硅紅外吸收光譜
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請(qǐng)教有沒(méi)有人有單晶硅紅外吸收譜的相關(guān)資料·· 單晶硅紅外波段哪些波長(zhǎng)有比較強(qiáng)吸收?? 謝謝!! |
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至尊木蟲(chóng) (文壇精英)
鐵桿木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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硅的紅外吸收要看溫度。常溫下和低溫下市不同的。另外和硅的表面狀態(tài)也是有關(guān)系的。 1.常溫下,主要是607cm-1的硅中的替位碳的吸收峰,這個(gè)峰疊加在硅的雙聲子吸收峰(600cm-1左右的吸收帶),辨識(shí)度不是很強(qiáng)。另外就是1107cm-1左右的硅中間隙氧的吸收峰。而表面狀態(tài)這個(gè)就不好一概而論。得看你是如何處理的樣品。舉個(gè)例子,如果是常規(guī)的HF清洗過(guò)的硅片,即所謂的H-terminated(氫終端化?不知道如何翻譯),就是好指的單晶硅表面的懸掛鍵上接了氫原子,使其結(jié)構(gòu)上穩(wěn)定。紅外光譜對(duì)Si-H鍵是能夠識(shí)別的,具體的位置好像有好幾處,記不太清楚了,你如果想清楚的了解這方面的知識(shí),還是找篇好點(diǎn)的review或者找本硅的紅外光譜的書(shū)看看。其他還有很多,要看實(shí)際情況,什么Si-O-H、Si-Ag、Si-Au、Si-Fe、Si-O-Si等等,都是有文可查的。 2.低溫下的話,主要就是雜質(zhì)吸收峰了(有hv>Eg(Si)的偏置光或背景光的情況下)。主要是三五族的淺雜質(zhì)。比如硼(B)-316.9cm-1、磷319.6cm-1等,還有就是這些淺雜質(zhì)的二階、三階峰以及精細(xì)結(jié)構(gòu)。還有就是替位碳和間隙氧,在低溫下具有更高的可分辨性。 希望對(duì)你有用! 嘮叨一句,其實(shí)我覺(jué)得看文獻(xiàn)的話,知識(shí)點(diǎn)太分散,還是看書(shū)系統(tǒng)些。你單單知道這個(gè)峰、那個(gè)峰是什么,只不過(guò)是鍛煉了你的記憶力,而看書(shū)可以知道來(lái)龍去脈,可以學(xué)到更多東西,呵呵 |
至尊木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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