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【求助】如何利用 MEMS技術(shù)制作參比電極,通常采用什么材料？ 已有2人參與
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各位前輩，大俠，版主。 本人剛接觸電化學(xué)檢測(cè)不久，想基于MEMS技術(shù)制作一個(gè)葡萄糖傳感器，是基于檢測(cè)過(guò)氧化氫原理的。 查了一些文獻(xiàn)，在制作的時(shí)候， 初步計(jì)劃工作電極和對(duì)電極用鉑 pt 或者金Au。 這兩種電極可以利用濺射或者蒸發(fā)等方法在硅片上制作出來(lái)。 可是，參比電極用什么材料呢？ 也可以用pt嗎？這樣對(duì)加工來(lái)說(shuō)應(yīng)為是同一種材料最方便了。 如果不行的話，看到有文獻(xiàn)用Ag/AgCl 做參比電極。那在硅片上怎樣制作Ag/AgCl 參比電極呢？是濺射一層Ag材料嗎？ 還看到一些國(guó)外的文獻(xiàn)有用pt 工作電極，pt對(duì)電極 和Ir/Irox 作為三電極的。也行嗎？Ir/Irox 參比電極 是制作一層Ir （銥）金屬嗎？ 本人挺迷惑的，謝謝各位前輩了。 |
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3樓2019-03-12 09:20:14
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