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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 金屬 » 交流互助 » 【求助】磁控濺射輝光穩(wěn)定性求助
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白鶴臥雪銀蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】磁控濺射輝光穩(wěn)定性求助 已有4人參與
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我用的磁控濺射儀鍍的Cu薄膜，以前做的時候濺射時輝光很穩(wěn)定，但最近幾次，Cu的輝光很不穩(wěn)定，電流電壓都不穩(wěn)，請問下誰知道是什么原因？濺射時設置的電流120mA，工作氣壓設置的是2Pa,通的保護氣是氬氣。 [ Last edited by ding2008212 on 2011-4-15 at 12:24 ] |
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白鶴臥雪
銀蟲 (小有名氣)
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4樓2011-04-20 09:14:25
wydmhy
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2樓2011-04-17 15:55:19
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3樓2011-04-19 22:26:22
xpengpengx
銅蟲 (小有名氣)
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5樓2012-11-22 21:10:02
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