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鐵電薄膜底電極的熱處理?
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| 各位大神,我做的是PZT鐵電薄膜,由于實驗條件所限,底電極一組是濺射的Cu,一組是噴的Au,文獻里說底電極要做熱處理,但是沒提到過Cu電極的熱處理,Au的熱處理也很少,而且文獻里的Au電極也是濺射的或者是蒸鍍的,我們沒這個條件。請問一下,底電極如果不進行熱處理對鐵電薄膜的電性能有何影響,求解釋和文獻都行???各位大神幫幫忙啊。。。。。O(∩_∩)O謝謝 |
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