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thphysical新蟲 (初入文壇)
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[求助]
硅片的清洗
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| 想知道大家用硅片最襯底生長(zhǎng)是硅片是怎么處理的 |
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 硅片 | 實(shí)驗(yàn)拾遺 |
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新蟲 (初入文壇)
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9樓2011-04-29 22:03:27
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★
wandaohzl(金幣+1): 鼓勵(lì)交流 2011-04-28 12:14:49
yingli09: 我想請(qǐng)教下，如果我想讓二氧化硅硅層加厚，怎么處理？謝謝 2011-05-02 11:30:01
yingli09(金幣+2): 謝謝應(yīng)助！有相關(guān)文獻(xiàn)最后給LZ分享下！ 2011-05-02 11:30:37
wandaohzl(金幣+1): 鼓勵(lì)交流 2011-04-28 12:14:49
yingli09: 我想請(qǐng)教下，如果我想讓二氧化硅硅層加厚，怎么處理？謝謝 2011-05-02 11:30:01
yingli09(金幣+2): 謝謝應(yīng)助！有相關(guān)文獻(xiàn)最后給LZ分享下！ 2011-05-02 11:30:37
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硅片作襯底是吧，先用加表面活性劑的自來水超聲15min，而后用丙酮超聲15min，然后用乙醇超聲15min，最后用去離子水超聲15min，真空干燥（也可以在空氣中干燥，真空干燥主要是防止干燥過程沾上空氣中的塵埃粒子），備用。 |
2樓2011-04-27 15:44:38
global_lin
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3樓2011-04-27 15:47:42
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4樓2011-04-27 15:53:59
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