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youjinshan新蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助�。ECVD鍍膜設(shè)備的基本參數(shù)
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| 小弟是大四的學(xué)生，畢業(yè)設(shè)計(jì)要做一個(gè)PECVD鍍膜設(shè)備，想請教下PECVD鍍膜機(jī)一般抽到多少真空度，電極的基本尺寸，以及電極的電壓和電流一般是多少。希望各位高手給予指點(diǎn)，感激不盡�。。�！ |
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youjinshan
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2樓2011-05-06 10:20:06
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