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qgmeng2005金蟲 (小有名氣)
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[求助]
薄膜退火問題
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| RT，我采用磁控濺射陶瓷靶材制備薄膜，薄膜厚度在幾個(gè)微米左右，但是900-1000℃退火之后只有500nm左右，而且薄膜平整，XRD測(cè)試也沒有衍射峰形成晶型。請(qǐng)問可能是什么原因呢 |
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mse507
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4樓2011-05-15 13:19:25
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2樓2011-05-13 19:28:18
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3樓2011-05-14 10:32:08
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5樓2011-05-15 14:12:14
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