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[交流]
溶膠——凝膠法制備ZnO薄膜晶體管中遇到的問題，新人誠心求教…… 已有2人參與
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本人是新手，正在做ZnO薄膜晶體管，遇到一個棘手的問題，求教各路前輩…… 由于我用n++硅作為底柵極，在上面旋涂薄膜，最終測試的時候需要在硅片上留下一塊沒有薄膜的區(qū)域作為柵極引出。 嘗試了不少辦法，由于我的干燥溫度為200度，故用透明膠粘上的方法不大行。 請問大家是如何露出底柵極或者是底電極的？誠心求教…… （PS：搜索了一下，發(fā)現(xiàn)有位前輩說做好電極后把兩個電極擊穿，但是這樣需要多高的電壓呢？會不會擊穿后我整塊硅片上的器件基本都廢了？） |
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dearmaximus
金蟲 (正式寫手)
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3樓2019-11-06 12:59:45
2樓2018-10-07 01:39:18
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