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564516276新蟲 (初入文壇)
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[求助]
急求有關(guān)多鐵薄膜測試問題解答
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1、想問一下有關(guān)底電極的問題 要測量多鐵薄膜的電性質(zhì)，是不是都要在原襯底和多鐵膜中間加一層導(dǎo)電膜和在多鐵膜上加導(dǎo)電膜或?qū)щ姌O呀？中間那層導(dǎo)電膜可否改加在基片下方?除了pt作為電極，是不是只要導(dǎo)電物質(zhì)就可以？Cu等可行？這個電極是怎么加上去的呀？電鍍？磁控濺射？or…… O(∩_∩)O謝謝 2、材料購買的問題 哪里有現(xiàn)成鍍有底電極的襯底？大概在什么價位？有哪些種類？O(∩_∩)O謝謝 |
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【答案】應(yīng)助回帖
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shecf(金幣+2): 謝謝應(yīng)助~歡迎報名參加功能材料達(dá)人評選活動http://emuch.net/bbs/viewthread.php?tid=3254933&fpage=1 2011-06-01 20:51:46
564516276(金幣+3): 解了燃眉之急，O(∩_∩)O謝謝 2011-06-02 19:57:18
shecf(金幣+2): 謝謝應(yīng)助~歡迎報名參加功能材料達(dá)人評選活動http://emuch.net/bbs/viewthread.php?tid=3254933&fpage=1 2011-06-01 20:51:46
564516276(金幣+3): 解了燃眉之急，O(∩_∩)O謝謝 2011-06-02 19:57:18
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關(guān)于第一個問題： 要測多鐵薄膜的電學(xué)性質(zhì)，必須鍍底電極（膜層）和頂電極（分散的小電極），以形成M-F-M電容器結(jié)構(gòu)。基本步驟如下： a：在你所選用的基體上鍍一層底電極，一般可用金屬電極（Pt）或氧化物電極（如LSCO,LSMO,LNO,SRO）。 b：鍍好底電極之后，鍍膜。 c：鍍頂電極，可以蓋上掩模板后，直接磁控濺射就行。也可以旋涂光刻來做頂電極。頂電極一般用貴金屬Pt或者Au。銅等金屬易氧化，不穩(wěn)定，會影響薄膜的測試結(jié)果。 關(guān)于第二個問題： 襯底或者叫基片的購買，百度一下有很多的。基片種類的選擇得看你薄膜制備的目的，看相關(guān)論文，可以獲得你所要的信息。 |
2樓2011-06-01 17:03:40
guody
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shecf(金幣+2): 謝謝應(yīng)助~歡迎報名參加功能材料達(dá)人評選活動http://emuch.net/bbs/viewthread.php?tid=3254933&fpage=1 2011-06-01 20:51:56
564516276(金幣+2): O(∩_∩)O謝謝，撥開云霧見太陽 2011-06-02 19:58:15
shecf(金幣+2): 謝謝應(yīng)助~歡迎報名參加功能材料達(dá)人評選活動http://emuch.net/bbs/viewthread.php?tid=3254933&fpage=1 2011-06-01 20:51:56
564516276(金幣+2): O(∩_∩)O謝謝，撥開云霧見太陽 2011-06-02 19:58:15
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測試磁性能，可以不需要電極 但是測試鐵電性能就必須有上下電極了，否則測試結(jié)果很難反應(yīng)真實性能 一般來說，底電極都會選擇Pt，主要是穩(wěn)定，而且和大多數(shù)氧化物材料晶格匹配較好。如果選擇氧化物電極的話，首先你要保證氧化物電極的導(dǎo)電性能，而且由于存在界面問題，工藝就相對復(fù)雜，當(dāng)然你如果想研究這個氧化物電極對多鐵材料的性能來講的話，可以考慮氧化物底電極。 雖然測試磁性能可以不需要電極，但是對于多鐵薄膜來說，直接沉積在襯底上和中間加了過度層，取向等會發(fā)生變化，取向?qū)ζ湫阅艿挠绊懢捅仨毧紤]清楚。 |
3樓2011-06-01 20:18:03
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4樓2011-06-06 21:10:35
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5樓2011-06-06 22:05:45
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6樓2015-12-10 07:32:19
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