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[資源]
原子力顯微鏡探針
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原子力顯微鏡AFM探針: 探針的工作模式：主要分為 掃描(接觸)模式和輕敲模式 探針的結(jié)構(gòu)：懸臂梁+針尖 制作工藝：半導(dǎo)體工藝制作 常見的探針類型： （1）、導(dǎo)電探針（電學(xué)）：金剛石鍍層針尖，性能比較穩(wěn)定 （2）、壓痕探針：金剛石探針針尖（分為套裝和非套裝的） （3）、氮化硅探針：接觸式 （分為普通的和銳化的） （4）、磁性探針：應(yīng)用于MFM，通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備 （5）、電化學(xué)探針（STM）: 電學(xué)接觸式和電學(xué)輕敲式 （6）、FIB大長(zhǎng)徑比探針：測(cè)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，專為測(cè)量深的溝槽（深孔）以及近似鉛垂的側(cè)面而設(shè)計(jì)生產(chǎn)的。 |
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zrm0005樓
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libo4sci6樓
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