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ZGmse木蟲 (小有名氣)
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[求助]
CVD合成納米線的壓力控制問(wèn)題
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| 請(qǐng)教各位蟲友，在用CVD方法合成納米線時(shí)，在真空泵工作和載氣量保持一定的條件下，想要控制管中的氣壓，是通過(guò)什么設(shè)備實(shí)現(xiàn)的（例如，在沒(méi)有控壓裝置時(shí)，可能100sccm的氬氣就是1Torr，但是有了控壓裝置，就可以將氣壓調(diào)節(jié)至100Torr或者700Torr等）？哪位可以給一些參考信息，萬(wàn)分感謝！ |
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8樓2011-08-20 02:38:11
2樓2011-06-02 10:40:27
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3樓2011-06-04 13:23:21
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4樓2011-06-04 18:10:14
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