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ZGmse木蟲 (小有名氣)
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[求助]
CVD合成納米線的壓力控制問題
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| 請教各位蟲友，在用CVD方法合成納米線時(shí)，在真空泵工作和載氣量保持一定的條件下，想要控制管中的氣壓，是通過什么設(shè)備實(shí)現(xiàn)的（例如，在沒有控壓裝置時(shí)，可能100sccm的氬氣就是1Torr，但是有了控壓裝置，就可以將氣壓調(diào)節(jié)至100Torr或者700Torr等）？哪位可以給一些參考信息，萬分感謝！ |
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9樓2011-08-20 14:01:36
2樓2011-06-02 10:40:27
ZGmse
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3樓2011-06-04 13:23:21
ZGmse
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4樓2011-06-04 18:10:14
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