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apolloljy銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
現(xiàn)今電子束曝光系統(tǒng)所能做的最小尺寸
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我想請(qǐng)問現(xiàn)今電子束曝光系統(tǒng)所能做到最小的曝光圖形和最小的曝光線寬分別能達(dá)到多少？ 可否有近一兩年的文獻(xiàn)讓我閱讀以下，謝謝！ [ Last edited by apolloljy on 2011-6-12 at 16:24 ] |
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zhoujun65
至尊木蟲 (知名作家)
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4樓2011-06-24 02:36:06
jaylan
銀蟲 (初入文壇)
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123321wah
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- 專業(yè): 無機(jī)非金屬類高溫超導(dǎo)與磁
| 其實(shí)現(xiàn)在的電子束曝光系統(tǒng)所能做到的最小的曝光圖形和最小的曝光線寬是根據(jù)SEM的精度來確定的。一般幾個(gè)納米都是沒有多大問題的。基于SEM改裝的電子束曝光系統(tǒng)相對(duì)于購買昂貴的專用電子束曝光機(jī)，以既有的SEM等為基礎(chǔ)，可大幅節(jié)省造價(jià)，且兼具原SEM的觀測(cè)功能，在功能與價(jià)格方面均有優(yōu)勢(shì)。http://www.phychemi.com/cp/html/?167.html |
5樓2013-08-08 12:45:49
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