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issp_summer金蟲 (小有名氣)
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[求助]
三甲基鋁(TMA)溫度和載氣流速
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| 用三甲基鋁(TMA)做CVD的時(shí)候，一般三甲基鋁(TMA)保持多少溫度？載氣的流速又是多少 ？ 謝 謝 |
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issp_summer
金蟲 (小有名氣)
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3樓2011-06-15 14:45:30
潘威振
鐵蟲 (初入文壇)
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2樓2011-06-15 11:24:12
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