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drg1984榮譽版主 (著名寫手)
奮斗
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[交流]
LED芯片和PSS生產(chǎn)需要使用的測量機臺及其對應的測量項目 已有5人參與
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總結了一下LED芯片和PSS生產(chǎn)需要使用的測量機臺,以及其對應的測量項目,請各位指教。 臺階儀——測量刻蝕的深度、寬度及其刻蝕均勻性 SEM——評價刻蝕形貌、粗糙度、損傷等 AFM——測量圖形化襯底的形貌,及其圖形的深度、高度、寬度及其角度等信息,同時可以 測量刻蝕表面的粗糙度等 AES/XPS——測量刻蝕表面的成分,評價刻蝕對刻蝕物的損傷 X 射線衍射儀——分析外延片的結晶完整性、均勻性、層厚、組分、應變、缺陷和界面 Raman散射光譜——組分、結構和形貌的分析和測定參數(shù)測量和物性研究:如異質(zhì)結結構中 的聲子和界面性質(zhì)、電子濃度、缺陷雜質(zhì)局域振動等結構相和相變研 究:有序無序結構相變等。 HL霍爾效應測試系統(tǒng)——測試半導體材料及外延層材料電阻系數(shù),載流子濃度及遷移率 PL(PL Mapping)熒光光譜儀測量材料的光致發(fā)光特性、對半導 體Wafer進行微區(qū)均勻性測量和表面分析 電化學C-V測試系統(tǒng)——作半導體材料及外延層材料縱向濃度分布測試 EL測試系統(tǒng)——測試VF、亮度、波長、半波寬等 面電阻測試儀——測試LED外延層電阻率 LED襯底材料厚度/ 平坦度測試儀——測試藍寶石襯底厚度/彎曲度/翹曲度/平坦度 LED芯片測試機——可測試VF,IR,VZ,LOP,λ P,λ d,λC,(x,y), HW,CCT 等各項 LED 芯片光電參數(shù) LED芯片/成品老化測試系統(tǒng)——測量芯片的可靠性 ITO表面電阻測試儀——測試硅晶圓擴散層或金屬層的電阻系數(shù)及Sheet的電阻值 |
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