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kevin0007鐵蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射法制備的高阻薄膜電阻器（Cr-Si）退火后膜層變化太大
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| 磁控濺射法制備的高阻薄膜電阻器（Cr-Si）退火熱處理后膜層變的特別淺了，兩端變白了，看的到陶瓷基體了！沒有反應(yīng)濺射，是表層非晶硅晶化的結(jié)果嗎？加入氮?dú)鈪⒁姺磻?yīng)濺射情況會(huì)好點(diǎn)嗎？還是因?yàn)檎婵斩鹊脑颍? |
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金蟲 (正式寫手)
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- 專業(yè): 金屬材料表面科學(xué)與工程
2樓2011-09-22 11:18:07
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