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zoulanlan新蟲 (初入文壇)
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[求助]
求教一下做氧化鋅摻鈷靶材的各位~
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求教一下大家，我做了一個氧化鋅摻雜氧化鈷的靶，摻雜的氧化鈷的濃度是1%，燒結(jié)溫度是1000℃，燒結(jié)時間是10h，一次燒結(jié)沒有多次燒結(jié)。燒出來后用磁控濺射在不同的襯底溫度下做了4個膜，EDS看了一下成分，發(fā)現(xiàn)都沒有鈷的成分。我測了一下靶的成分分布（也是用EDS），發(fā)現(xiàn)從上表面到下表面，鈷的成分分布大概是從少到多，鈷傾向于沉在底部，求問一下，這是為什么�。� 謝謝回答~ |
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6樓2011-07-11 22:33:10
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