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永遠(yuǎn)愛(ài)家的YY金蟲(chóng) (小有名氣)
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[交流]
采用CVD制備的涂層一般是壓應(yīng)力還是拉應(yīng)力？ 已有5人參與
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我測(cè)出來(lái)CVD制備出的TiCN涂層是壓應(yīng)力的，而且數(shù)值還很大。 但老師說(shuō)一般CVD制備出來(lái)的涂層都是拉應(yīng)力，而且理論來(lái)說(shuō)這種涂層的應(yīng)力應(yīng)該很小的。 不知各位有測(cè)過(guò)這方面的涂層的應(yīng)力嗎？ |
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nwpu_ranger
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2樓2011-07-12 21:16:54
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3樓2011-07-13 08:35:38
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4樓2011-07-13 18:36:51
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