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pcsmine木蟲 (著名寫手)
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[求助]
PZT薄膜問題？
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本人用SOL-GEL法制備PZT薄膜，基片用的是 Pt/Ti/SiO2/Si，做出來的薄膜性能不是太好，斷面SEM照片看到薄膜和基片分開了，老師說我的薄膜粘附性不好，請教各位，是這樣么？ 還有成分測試（XPS、EPMA）結(jié)果顯示Zr/Ti比例比理論值偏高，不知道這是為什么，有高人能指點么？ |
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diwunju
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5樓2011-07-20 09:29:57
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2樓2011-07-19 21:09:58
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3樓2011-07-19 21:15:57
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【答案】應(yīng)助回帖
★
Missile521(金幣+1): 有金幣拿��！再次獎勵~~ 2011-07-20 09:08:20
pcsmine(金幣+5): 謝謝，說的有道理，做表面的EPMA不知道效果怎么樣，它的探測深度有多深��？ICP倒是可以做，但是怎么溶解薄膜呢？ 2011-07-20 09:11:54
Missile521(金幣+1): 有金幣拿��！再次獎勵~~ 2011-07-20 09:08:20
pcsmine(金幣+5): 謝謝，說的有道理，做表面的EPMA不知道效果怎么樣，它的探測深度有多深��？ICP倒是可以做，但是怎么溶解薄膜呢？ 2011-07-20 09:11:54
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如果一系列樣品Zr/Ti都偏高，那有可能就是XPS靈敏度因子引起的系統(tǒng)誤差。XPS測成分是依靠靈敏度因子把譜線積分強(qiáng)度的比值換算成濃度的比值，但是這個靈敏度因子對原子序數(shù)大的元素特別不靠譜，因為這些元素的光電子強(qiáng)度隨化學(xué)環(huán)境的影響很大，不是一個簡單的因子能完全描述的。 還是用EPMA吧，就在表面做就行，噴一層薄薄的碳。雖然也要用到類似靈敏度因子的東西，但是這個卻是對大原子序數(shù)的原子比較準(zhǔn)，而且EPMA的能量分辨率很好，譜線背景很干凈，X射線的峰很窄，比較好處理。 不過物理方法測成分總歸是個不靠譜，測出來和你的nominal成分差不多，你就相信它，差得太多就forget it。ICP之類的化學(xué)方法會比較準(zhǔn)，但是那個要把薄膜溶解掉。 有金幣拿，就多寫一點哈，呵呵 |
4樓2011-07-20 09:04:24
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