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鋒o希望新蟲 (初入文壇)
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[求助]
請問:橢偏儀大概多少錢
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小弟最近在使用磁控濺射鍍膜機鍍膜,但是無法測量膜厚,現(xiàn)在準(zhǔn)備使用橢偏法測膜厚,不知一般的橢偏儀(如TP77)大概多少錢? 順便問一下,大家在鍍膜過程中都是如何控制膜厚的,或者怎么測膜厚的。 謝謝大神們! |
橢偏測量 |
鐵桿木蟲 (正式寫手)
| 看你是濺射什么膜了,橢偏儀測膜厚的水分挺大的!給你個參考儀器http://www.tjgd.com/pro2.aspx?id=239 如果需要的話,我給你聯(lián)系他們內(nèi)部工程師,價格會很優(yōu)惠的! |
新蟲 (初入文壇)
銀蟲 (小有名氣)
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橢偏儀種類比較多(可參考量拓科技的網(wǎng)站www.ellitop.com)價格從幾萬元到接近百萬元, (1)大類分為:激光橢偏儀、光譜橢偏儀; (2)針對在線測量的有:大面積在線橢偏儀、鍍膜機專用在線橢偏儀 (3)針對教學(xué)用的有:教學(xué)橢偏儀(這種一般用于原理演示,無法進(jìn)行科研中有精度要求的測量)。 |
金蟲 (正式寫手)
理工小碩

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