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gebilang木蟲(chóng) (小有名氣)
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[交流]
求教配置SPM,SC1,SC2清洗液的具體配制步驟順序 已有2人參與
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最近有一些硅片、玻璃片需要清洗,以前沒(méi)洗過(guò),在木蟲(chóng)上搜了些資料,想用標(biāo)準(zhǔn)的清洗液來(lái)清洗。不過(guò)具體操作上還想請(qǐng)教一下大家,這玩意兒都說(shuō)比較危險(xiǎn)。 1,SPM, H2SO4和H2O2,誰(shuí)后加?網(wǎng)上有說(shuō)H2SO4加到H2O2中的,也有說(shuō)反過(guò)來(lái)的,感覺(jué)應(yīng)該是H2SO4加到H2O2中吧?? 2,SC1——NH4OH:H2O2:H2O,是先H2O,再H2O2,再NH4OH的順序? 3,SC2——HCL:H2O2:H2O,是先H2O,再H2O2,再HCL的順序? 感謝蟲(chóng)子們幫忙! |
新蟲(chóng) (小有名氣)
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