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[求助]
做AR-XPS測試時候，需要知道氧在SiO2中的非彈性散射平均自由程嗎？
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AR-XPS中氧的平均自由程 請教高手！ 在做AR-XPS測試的時候，需要知道氧在SiO2中的非彈性散射平均自由程，有人知道是多少嗎？ background：我是想用AR-XPS來測試Si表面的native oxide厚度。需要用到一個公式，公式中有個未知量是“平均自由程” |
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