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longquan1988新蟲 (初入文壇)
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[求助]
怎樣生成比較光滑的多晶結(jié)構(gòu)的TiO2薄膜，晶粒大小要求在30-80nm，無特殊取向
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| 問下啊，怎樣才能得到比較平滑的（RMS<2nm）多晶結(jié)構(gòu)的TiO2薄膜，晶粒大小要求在30-80nm之間，且無特殊取向，薄膜厚度沒有什么要求，幾十納米到幾百納米均可。查了下sol-gel, supttering, e-beam, 沒發(fā)現(xiàn)有符合要求的文獻(xiàn)， 有知道的同學(xué)麻煩給出文獻(xiàn)鏈接。還有哪里能買到這種已經(jīng)coat了TiO2薄膜的基底，對基底材料無要求，但是薄膜性質(zhì)要符合要求。謝謝 |
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